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基于槽形函数拟合的刻划光栅衍射特性分析方法（PDF）
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软件大小： 285.00 KB 解压密码： 软件评级： ★★★ 开 发 商： Frank 本月下载： 软件类别： 国产软件 软件授权： 免费版 软件语言： 英文 运行平台： Win9x/NT/2000/XP/2003 更新时间： 2011年12月15日 -
作为对光栅刻划工艺的理论指导，提出了一种基于槽形函数拟合的机械刻划光栅衍射特性分析方法，解决了高刻线密度光栅衍射效率测量值与理论值偏差较大的问题．以刻线密度为1200 l／mm的紫外光栅为例，对光栅主截面上的实际槽形纵横坐标扫描取值，进而拟合出槽形函数，经理论计算找到了导致衍射效率偏低的原因，并通过改进工艺，使光栅衍射效率提高了约20％ 。
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